Укрепление технологического суверенитета – одна из ключевых задач в достижении национальных целей развития Российской Федерации на период до 2030 г. В этой связи чрезвычайную актуальность приобретает разработка и налаживание производства в возможно короткие сроки отечественных материалов широкой номенклатуры, в том числе особо чистых, для нужд микроэлектронной промышленности. Авторами представлены основные проблемы и пути развития производства таких веществ и материалов. Статья подготовлена на основе доклада на заседании президиума РАН, посвящённого роли химии и наук о материалах в обеспечении технологического суверенитета России.
Индексирование
Scopus
Crossref
Высшая аттестационная комиссия
При Министерстве образования и науки Российской Федерации