- Код статьи
- 10.31857/S086958732310002X-1
- DOI
- 10.31857/S086958732310002X
- Тип публикации
- Статус публикации
- Опубликовано
- Авторы
- Том/ Выпуск
- Том 93 / Номер выпуска 10
- Страницы
- 917-922
- Аннотация
- Укрепление технологического суверенитета – одна из ключевых задач в достижении национальных целей развития Российской Федерации на период до 2030 г. В этой связи чрезвычайную актуальность приобретает разработка и налаживание производства в возможно короткие сроки отечественных материалов широкой номенклатуры, в том числе особо чистых, для нужд микроэлектронной промышленности. Авторами представлены основные проблемы и пути развития производства таких веществ и материалов. Статья подготовлена на основе доклада на заседании президиума РАН, посвящённого роли химии и наук о материалах в обеспечении технологического суверенитета России.
- Ключевые слова
- материалы для микроэлектроники высокочистые материалы интегральные схемы фотолитография фоторезисты антиотражающие покрытия суспензии поверхностно-активные вещества проявители
- Дата публикации
- 17.09.2025
- Год выхода
- 2025
- Всего подписок
- 0
- Всего просмотров
- 18
Библиография
- 1. Стенограмма заседания Совета по стратегическому развитию и национальным проектам 15 декабря 2022 г. https://www.google.com/url?sa=t&rct=j&q=&esrc=s&source=web&cd=&ved=2ahUKEwjA1J3M1duAAxUoKxAIHZuFBgwQFnoECAsQAQ&url= http%3A%2F%2Fkremlin.ru%2Fevents%2Fpresident%2Fnews%2F70086&usg=AOvVaw1CR5l1yemutntpezd-GGNF&opi=89978449] (дата обращения 14.08.2023).
- 2. Перечень поручений по итогам заседания Совета по стратегическому развитию и национальным проектам. Пр-144, п.1а-2 от 26 января 2023 г. http://www.kremlin.ru/acts/assignments/orders/70412 (дата обращения 14.08.2023).
- 3. Распоряжение Правительства РФ от 17.01.2020 г. № 20-р. https://www.google.com/url?sa=t&rct=j&q= &esrc=s&source=web&cd=&ved=2ahUKEwjOtrSW3duAAxUCjosKHQNbCjwQFnoECAsQAQ&url= http%3A%2F%2Fgovernment.ru%2Fdocs%2F38795% 2F&usg=AOvVaw0g3L1TYt7dfA_j9r_cheMR&opi= 89978449 (дата обращения 14.08.2023).
- 4. Распоряжение Правительства Российской Федерации от 20.05.2023 № 1315-р. http://publication.pravo.gov.ru/document/0001202305250050 (дата обращения 14.08.2023).
